先进封装技术
先进封装是指前沿的倒装芯片封装(FC,Flip chip)、晶圆级封装(WLP,Wafer level packaging)、系统级封装(SiP,System In a Package)和2.5D、3D封装等,作为提高连接密度、提高系统集成度与小型化的重要方法,在单芯片向更高端制程推进难度大增时,担负起延续摩尔定律的重任。先进封装使用晶体管的前道制造方式,制作后道连接电路,故先进封装的工艺流程与前道相似,所需设备类别也大体相同,只在关键尺寸与精度上同前道有区别。使用圆片级封装时,涂胶显影设备所需尺寸与前道相同,主要为8/12寸涂胶显影设备。